业界首款集成微透镜的MicroLED器件可用于像素级光

8月，比利时增强现实（AR）MicroLED厂商MICLEDI宣布推出业界首款集成微透镜的MicroLED器件，可用于像素级光束整形（beam shaping），该器件是基于MICLEDI专有的300mm CMOS制作平台打造。

据悉，新款MicroLED器件系列为基于光波导技术的AR眼镜带来了多种优势，包括：

- 提高功效——新款MicroLED器件应用将光聚焦在目标波导锥内。

- 获得最佳光波导耦合——通过可控制色散补偿，为AR眼镜的系统集成和图像质量改进提供更多的灵活性。

- 像素间距缩放至3微米以下——通过新款MicroLED器件应用，AR眼镜具有高度可再现的光束形状性能。

MICLEDI首席技术官Soeren Steudel博士表示，通过300mm晶圆代工厂设备的应用，MICLEDI具备了将微透镜集成到MicroLED器件中的独特制造能力，而且高质量的光束整形需要极高的精度和纳米级覆盖精度，这些精密制程只能在300mm晶圆代工厂中完成。

MICLEDI方面透露，蓝光和绿光MicroLED阵列以及带有微透镜的蓝光阵列的样品和测试套件已于今年夏季交付客户，红光MicroLED阵列将于今年第四季度发布。

另外，MICLEDI首席执行官Sean Lord透露，MICLEDI目前正在开发公司的第一个RGB模块，并探索多色RGB集成的方法。

资料显示，MICLEDI是比利时微电子研究中心（IMEC）的分拆公司。去年底，MICLEDI首次展示了业界首款基于300mm CMOS制作平台打造的AR用MicroLED阵列。

据介绍，基于300mm CMOS平台打造的MicroLED阵列可满足未来AR眼镜在显示器尺寸、分辨率、亮度、图像质量、功耗和成本上的需求。

今年3月份，MICLEDI与美国半导体晶圆代工厂格芯达成合作，推动MICLEDI的MicroLED阵列产品的量产进程。

今年5月份的SID 2022展会上，MICLEDI则展示了红光、绿光、蓝光 MicroLED阵列样品，这些MicroLED阵列可在低分辨率和高分辨率显微镜进行检测，同时可在硅晶圆上重组氮化镓与切割器件。