影响电动轮廓仪测量精度的主要因素

影响电动轮廓仪测量精度的因素主要有以下几点。

1．触针的半径

传感器触针的端部越尖，越能真实地反映被测工件表面的微观几何形状误差，但触针过尖，不仅制造加工很困难，而且更易划伤被测表面。触针端部一般均制成圆弧形，此圆弧半径越大，带来的测量误差越大。低精度轮廓仪触针端部的圆弧半径为5um或10um。高精度轮廓仪触针端部的圆弧半径为1um。

2．传感器导头半径

传感器导头的作用是，触针在被测表面上移动的过程中，形成触针感触微观几何形状误差的基准线，因此要求导头曲率中心的运动轨迹与被测表面的宏观几何形状轮廓一致。只有当轮廓曲线起伏间距小或导头的圆弧半径较大时，才能达到此项要求。若导头的圆弧半径过小，则在测量中导头将随被测表面微小峰谷的起伏而上下运动．致使导头曲率中心的运动轨迹与被测表面的宏观轮廓不一致，造成触针与导头的相位误差。影响测量精度。但导头圆弧半径过大，也会使被测表面的宏观几何形状误差反映到测量结果中，降低测量精度，因此一般要求导头半径为7～50mm。

3．测力

为确切反映被测表面粗糙度，要求触针与被测表面可靠地接触。如果测力过小难以达到此目的，会带来一定的测量误差。但如果测力较大，则既易划伤被测表面，也易使触针端磨损。所以测力大小必须适当二另一方面，测力大小的．选择还与触针端部圆弧半径大小相关。触针圆弧半径较大时，选择的测力可适当大些；触针圆弧半径较小时，选择的测力必须相应减小。一般对应关系见表4.2.3。

表1触针测力与圆弧半径对应关系

电动轮廓仪的保养

①每天开机前及测量完毕后用高织纱棉布蘸无水酒精清洁工装表面、测针、轨道。

②平时不使用时将所有电源关闭，且将测针的保护套套上。

③严禁用扫帚清扫地面，以免灰尘扬起。

④对仪器进行全面的维护和精度调整。