一文解析DARM工艺流程

DRAM（动态随机存取存储器）的工艺流程包括多个关键步骤，具体如下：

硅片生长：在高温条件下生长硅片，这是DRAM芯片的基础，提供了存储单元，并且必须具有高度纯净的结构。

晶圆制备：硅片经过多个化学和机械处理步骤，以达到工艺所需的尺寸和表面光洁度。这些步骤包括去除表面杂质、平坦化和清洗。

沟槽和井形成：为了形成电流和电气连接，在晶圆上创造物理结构，如带形、凹槽和孔，这通常通过使用化学气相沉积和光刻技术实现。

氧化硅封装：将氧化硅层沉积到整个硅片表面上，对芯片上的线路进行隔离和保护。

铝线制作：使用物理蒸镀和光刻技术，在氧化硅上创造出复杂的连线图案，以将信号传输到不同的存储单元。

填充和平坦化：为了增加芯片密度和保持表面平整度，进行填充和平坦化步骤。

封装和测试：芯片被封装到外壳中，并通过测试和筛选来确保质量和工作正常。

审核编辑：黄飞