影响光学薄膜质量的主要因素及控制方法

膜层折射率误差来源

1)膜层的填充密度，也叫聚集密度。它是膜层的实材体积和膜层的几何轮廓之比。，

2)膜层的微观组织物理结构。即使用同样的膜层材料，采用不同的物理气态沉积技术(PVD)，得到的膜层具有不同的晶体结构状态，具有不同的介电常数和折射率。

编辑：黄飞