高效在线监测POLY膜厚方案——POLY5000在线膜厚测

对于Poly膜厚的精准把控和实时检测一直是提升太阳能电池性能过程中的一个难点。为了解决膜厚精准测量和分析，各类膜厚测量手段和设备层出不穷，但数据精准度不高、测试范围不满足、测试时间太长等缺陷依然制约着膜厚检测。面对这些困难，美能POLY5000在线膜厚测试仪的应对方式有哪些？

0.5nm超高重复性精度

美能专为光伏客户研发出一款光谱范围为300nm-1100nm，光斑为70μm的「光谱仪」，专为适应光伏行业的测试环境及条件。搭配美能创新的「光谱拟合法」，拟合获得薄膜厚度、光学常数以及膜厚均匀性等信息,实现超广测量范围20nm-2000nm和0.5nm超高重复性精度。

光强均匀，频谱稳定

传统的LED光源，平均有效光谱范围只有400nm-780nm，且在480nm附近会有光谱缺失，导致频谱不稳定，无法保证测试结果的准确性。POLY5000采用独特的钨卤素灯，有效光谱范围可达320nm-2400nm。该光源可涵盖从紫外线到红外线的所有光波段，并且能发射出连续光谱，保证测试结果的准确性。

快速、自动的5点同步扫描

POLY5000是专为光伏工艺监控设计的在线POLY膜厚测试仪。不同于其他的膜厚测试设备，POLY5000可以对样品进行快速、自动的5点同步扫描，获得样品不同位置的膜厚分布信息。并且根据不同客户、不同样品大小，POLY5000能够定制测量尺寸，满足绝大部分电池片测试需求。

在线监控设备，保证生产效率

POLY5000可100%监控LPCVD和PECVD沉积工艺，设备自动测试代替人工离线测试，非接触、无损测量，保证零碎片率。单片测试时间＜0.5s，保证生产效率。

在光伏行业全面发展的今天，我们愿与客户一起提升产品质量、成本竞争力和量产优势。在这一过程中，「美能光伏」致力于研发各种精密检测设备，并提出多种电池组件研发解决方案，为客户提供更多选择。