纳米级测量仪器：窥探微观世界的利器

纳米科技的迅猛发展将我们的视野拓展到了微观世界，而测量纳米级尺寸的物体和现象则成为了时下热门的研究领域。纳米级测量仪器作为一种重要的工具，扮演着重要的角色。那么，如何才能准确测量纳米级物体呢？

在纳米级测量中，由于物体尺寸的相对较小，传统的测量仪器往往无法满足精确的要求。而纳米级测量仪器具备高精度、高分辨率和非破坏性的特点，可以测量微小的尺寸。

1、光学3D表面轮廓仪

SuperViewW1光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术原理，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

2、激光共聚焦显微镜

VT6000激光共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法共同组成测量系统，能用于各种精密器件及材料表面的非接触式微纳米测量。能测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

3、台阶仪

CP200台阶仪不同于光学轮廓仪和显微镜的是它的测量方式是接触式探针测量。它可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

除了上述所提及的仪器外，还有一些其他的纳米级测量仪器也日益成为研究的热点，例如激光干涉仪。这些测量工具各有特点，可用于不同的纳米级尺寸测量需求。

纳米级测量仪器在纳米科技研究领域中扮演着重要的角色。通过共聚焦显微镜、光学轮廓仪等的运用，科研人员们能够更加深入地了解纳米世界的奥秘。