射频探针的类型有哪些

射频探针的历史

在半导体测试领域，射频探针是不可或缺的工具。自1980年代，Reed Gleason与Eric Strid在Tektronix工作时合作发明了第一台高频晶圆探针，并于1983年共同创办Cascade Microtech公司，这一技术开始得以发展壮大。在此之前，测试MMIC器件几乎没有有效的方法，通常只能在键合或封装后进行测试。早期的RF探针采用共面陶瓷材料制造，但陶瓷的弹性范围有限，同时支持的射频频率也有限，第一代探针仅覆盖到18 GHz。然而，如今我们可以选择多种类型的探针，其覆盖频率轻松可达110 GHz以上。

射频探针的类型

为了测量电路性能，需要将信号传输到某种传输线上，这要求至少两个导体，即“信号导体”和“地导体”。因此，射频探针可以分为三种基本类型：GS、SG、GSG。

除了这些基本类型，还存在各种组合，如GSGSG、GSSG、SGS等等。探针本身需要与内部不同传输媒介的特征阻抗匹配，以确保在不同的传输模式下高效传输电磁能量。

传统的射频探针通常包括以下几个部分：

1、测试仪器接口（同轴或波导）

2、从测试接口到微同轴电缆的转接

3、微同轴电缆到平面波导（CPW/MS等）的转接

4、共面接口到DUT部分即针尖。

也有一些探针将第3和第4部分合并在一起，或者干脆没有微同轴电缆。

一般而言，65 GHz以下的应用使用同轴头，50 GHz到110 GHz之间的频率可以选择同轴或波导。对于覆盖DC到110 GHz的宽带测试系统，如果需要一次扫描测试，通常使用1mm的同轴接口，尽管价格较高。而110 GHz以上的探针通常采用波导形式。

三

其他相关概念

探针间距（Probe Pitch）：

指的是针尖之间的间距，一般在50-1000微米之间。对于毫米波频率的应用，针尖间距通常较小。我司支持间距100-1250微米。

探针偏移（Probe Skate）：

当您在Z轴方向向下按压探针时，当探针接触到被测器件时，它会在ZY平面上发生弯曲移动。通常，这也是判断是否成功扎上的一个现象。

去嵌算法（De-embedding）：

去嵌是一项在探针出现之前就存在的技术，曾广泛用于标准分立夹具测试中。目前已有许多研究关于去嵌相关的算法。【迪赛康】教你怎么使用R&S的网分，去嵌探针测试影响

分享一篇测试校准相关的博士论文片段：

四

射频探针厂商念

FormFactor公司于2016年收购了Cascade Microtech公司，成为行业的领先者之一，其产品覆盖面非常广泛。他们的微波毫米波探针产品系列包括ACP系列、Infinity系列和|Z| Probe系列。这些探针具有不同的特点和优势，适用于不同的应用需求

Designcon：

迪赛康（Designcon）是一家专注于高频高速测试领域的射频探针品牌。成立于2016年，公司自成立以来一直致力于高频、高速领域的探索和研发。

射频探针类型多样，包括GS、SG、GSG、GSSG以及差分可调间距探针，以满足不同的应用场景。探针产品支持阻抗、S参数等多种高频测试，并可进行定制探针。

以下为我司探针产品图

此外，还有其他一些射频探针制造商，较大的一些包括：

Keysight Technologies：提供各种类型的射频和微波探针，以及相关测试仪器。

Rohde & Schwarz：提供广泛的射频和微波测试解决方案，包括探针和测量设备。

Anritsu：专注于通信和电子测试领域，提供各种射频和微波探针以及测试解决方案。

MPI Corporation：全球领先的半导体测试解决方案供应商，提供多种射频和微波探针用于半导体测试。

GGB Industries：专注于微波和射频探针技术，提供高性能探针以满足不同的测试需求。

SV Probe：专门提供半导体测试探针，包括射频和微波应用。

总结：

国产探针具有更短的交货周期，能够更快地满足您的需求。其次，国产产品在售后支持和维修方面更为便利，您可以轻松联系本地供应商解决问题，减少停机时间。此外，国产探针价格更加适中，有着更具竞争力的价格，降低了测试设备的总成本。同时，本地技术支持和培训服务可以提高测试效率，并确保设备性能稳定。此外，国产产品更容易根据国内市场需求进行定制和改进，以满足客户的具体需求。最后，选择国产探针还可以避免受到国际贸易问题的影响，提供更稳定的供应链。

总之，选择国产射频探针是一个经济实惠且明智的选择，尤其是在考虑到交货时间、价格、售后支持和定制需求等方面。

编辑：黄飞