场发射扫描电镜GeminiSEM 500规格参数

今天三本精密仪器小编给您介绍场发射扫描电镜GeminiSEM 500规格参数及样品制备要求：

一、样品要求

（1）本仪器不接收磁性、易潮、液体、有机、生物、不耐热、熔融蒸发、松动粉末或碎屑等有挥发物样品，每个样品的质量不得超过100g，高度不超过2 cm。

（2）对于隐瞒样品信息而造成设备故障或损坏的，中心要求用户或用户课题组承担相应的维修费和误工费。

二、场发射扫描电镜GeminiSEM 500主要规格及技术指标

1、分辨率：15 kV时0.6nm；1 kV时 0.9nm (借助串联减速功能选项)；

2、加速电压：0.02-30 kV 连续可调；

3、放大倍数： ×20-2,000K

4、探针电流：3pA-20nA。

三、主要附件及配置

配有能谱与超级能谱。

能谱仪(EDS) Oxford EDS System（UltimMax100）

EBSD Oxford EBSD System（Symmetry）