模块化检漏仪应用于电子元器件检漏系统

测试方法

真空模式和吸枪模式

真空模式下
氦气最小检测漏率

3.5X10-8mbar l/s 大漏模式
1X10-10mbar l/s 常规模式
5X10-12mbar l/s 高灵敏度模式

吸枪模式下
氦气最小检测漏率

1.5X10-8mbar l/s

检测气体

4He, 3He, H2

初检压力

18 mbar 大漏模式
1 mbar 常规模式
0.2mbar 高灵敏度模式

氦气抽速

1.8 l/s 常规模式
6 l/s 高灵敏度模式

启动时间

< 3 min

真空接口

DN 25 ISO-KF; DN 16 ISO-KF

Interface

RS-232, Ethernet, Profibus, USB

I/O interface

6 个数字输入 (所配功能可设置）
3 个模拟输出 (可配置: 氦信号记录, 尾数, 指数, 吸气压力)
5 个继电器输出 (可配置的分配功能)
4 个晶体管 / 集电极开路输出

尺寸: L × W × H

真空模块 279 × 264 × 197 mm
电子模块 216 × 317 × 111 mm
控制面板 241 × 54 × 133 mm

重量

真空模块 15 kg; 电子模块 5 kg; 控制面板 1.3 kg

通用电压

90 – 240 V AC; 50/60 Hz

最大功耗

300 W

工作温度

10 – 45 °C