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白光干涉仪测三维形貌怎么测

时间:2023-07-21 11:03

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作者:admin

标签: 测量  干涉仪 

导读:白光干涉仪测量的结果通常以二维形貌图或三维形貌图的形式展示。二维形貌图是对干涉条纹进行图像处理得到的,显示出被测物体表面的高低起伏。而三维形貌图则是在二维图像的基...

白光干涉仪测量的结果通常以二维形貌图或三维形貌图的形式展示。二维形貌图是对干涉条纹进行图像处理得到的,显示出被测物体表面的高低起伏。而三维形貌图则是在二维图像的基础上,进一步还原出物体表面的立体形貌。通过这些三维形貌图可以直观地展示出被测物体的形状、几何特征等信息。

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工作方式

干涉仪主体通过分光装置将白光分成不同的颜色,然后将分光后的光束分别照射到被测物体表面。被测物体会反射和透射出不同的光束,形成干涉光。然后相机会记录下干涉光的图像,同时将其转换成数字信号。最后计算机会对图像进行处理,将干涉光的特征转化为被测物体的形貌数据,并提供精确的测量结果。

wKgZomS59RGATPQIAADet1mJi8w513.pngSuperViewW1白光干涉仪仪器架构

在用白光干涉仪测三维形貌时,要注意一些问题:

1、被测物体表面应当具有一定的光滑度,以确保干涉光的质量和稳定性。

2、被测物体的大小和形状也会对测量结果产生影响,需要根据具体情况选择适当的测量参数和方法。

3、在进行测量时,应注意避免或校正任何可能导致误差的因素,以确保测量结果的准确性和可靠性。

4、通过合理调整仪器参数,进行准确测量,并进行适当的数据处理,可以获取到物体表面的详细形貌信息。

随着科技的进步和应用需求的不断增加,材料表面粗糙度、薄膜厚度、形状检测等测量要求越来越高,白光干涉仪以其测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广等优点在各个领域中的应用越来越广泛。

例如在制造业中,白光干涉仪可以用于测量机械零件的形貌,以确保产品的质量和精度;在电子行业中,它可以用于检测芯片表面的缺陷和变形;在医疗领域,白光干涉仪可以用于眼科手术中的角膜形状测量等。为许多行业的形貌测量提供了重要的支持。

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