MEAS加速度传感器工作原理

大家好，我是【广州工控传感★科技】加速度传感器事业部，张工。

1、MEMS芯片的加速度传感器工作原理：

MEAS 3028-002-P，4500-010，

在MEMS硅芯片上加一个质量块

在受到均匀加速度时（例如，重力加速度），质量块对MEMS芯片施加一个恒定的力，产生静态信号

在受到变加速度时（例如，振动），质量块对

MEMS芯片施加变力，产生动态信号

信号的振幅代表加速度的大小

大部分加速度传感器都以g为单位

1 g = 海平面的重力加速度

2、振动/加速度传感器工作原理：

7132A-0100，7100A-0100，64C-2000

当受到应力或形变时，压电材料产生电压输出

压电材料与导电支撑基座连接

在压电材料的上面有一个电极，电极上面是个质量块

当受到的是均匀加速度（例如：重力加速度），输出为零

压电式加速度传感器只响应动态加速度或振动

三、静态加速度传感器：

封装

粘结或支架安装 表面贴装 陶瓷外壳封装

性能

量程(± g): 2 -- 6000 g 频率(Hz): 0-150 -- 0-7000 毫伏(mV) 输出

最大冲击：(± g): 10,000 g 工作温度范围(°C): -40 -- +125 非线性(%FSO): ±1.0

激励电压(Vdc): 2 -- 10 输出: 0.10 -- 40mV/g (现行比例输出)

应用

地震监测传感器 倾角传感器 设备健康状态监测 主动阻尼