如何验证白光干涉仪精度丨科普篇

粗糙度、台阶高度是白光干涉仪最擅长的测量工作。

小优博士也重点说明过在此类测量应用的优势。

白光干涉的超高精度，会让很多评估者无从下手。

怎么验证一台白光干涉仪的高度测量能力？

小优博士给您支招。

非常简单！

只需准备“SiC硅片” 和 “标准台阶块”

15分钟验证3大参数即可！

a、RMS重复性

b、台阶重复性、台阶准度

c、扫描量程、扫描速度

一、RMS重复性

RMS重复性：ISO 25178 标准下，测量两次SiC表面粗糙度Sq；

取Sq/√2 的差值，或30取1σ的平均偏差。

（图1 SiC晶圆）

二、台阶重复性、准度

台阶重复性：测量标准台阶高度的重复偏差；

一般测量30次，取1σ的极值偏差/平均值。

台阶准度：测量值相对标准值的偏差；

一般测量30次，取1σ的标准偏差/标准值。

（图2 标准台阶块）

三、扫描量程、速度

硬件“压电陶瓷“直接决定了量程和速度；

验证方法:实测样品确定量程，使用秒表计算时间。

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普通实验室环境下

小优博士使用优可测Atometrics白光干涉仪ER-230进行实验。

↓ ↓

（图3 对SiC标准片进行30次粗糙度Sq，取1σ的标准偏差）

RMS重复性0.005nm

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（图4 对12μm马尔标准块进行30次高度测量）

取1σ的极值偏差/平均值，台阶高度重复性0.07%

取1σ的平均值/标准值，台阶高度准确性0.3%

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（图5 对接近5000μm的产品进行扫描）

高度 4815μm

（图5 记录扫描时间）

扫描速度400μm/s

15分钟验证完毕，此技巧你掌握了么