白光轮廓仪与共聚焦显微镜的区别是什么？

SuperViewW1白光轮廓仪是以白光干涉技术为原理，实现器件亚纳米级表面形貌测量的光学检测仪器。多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；测量行程有140*100*100㎜，对于测量物体整个区域表面情况，还可以使用自动拼接测量、定位自动多区域测量功能。拼接测量功能3轴光栅闭环反馈，在样品表面抽取多个区域测量，就可以快速实现大区域、高精度的测量，从而对样品进行评估分析。

以共聚焦测量技术为原理的VT6000共聚焦显微镜，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，更容易测陡峭边缘，虽在检测分辨率上略逊，但成像图色彩斑斓，便于观察。