激光干涉仪测量三坐标测量机XY轴垂直度

三坐标测量机是一种用途很广的高精度仪器。随着坐标测量机运行速度的加快，动态误差往往比静态或准静态误差对测量精度的影响更大。由于在测量过程中的加、减速度明显加大，测量机各结构件的分布质量产生的惯性力造成了机构的变形。在高速测量过程中，还必然会产生自激振动和受迫振动。此外，由于测量机的各运动部件的连结处都采用了刚度较低的气浮导轨支承，在加速或减速运动过程中，其动态特性也会发生明显的变化。所有这些都是产生动态误差的根源。充分认识三坐标测量机的动态/静态特性和动态/静态误差的构成及大小对于进行三坐标测量机误差补偿和改进测量机结构设计都有重要的意义。

SJ6000激光干涉仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等多几何参量的高精密测量，用于检测数控机床、自动化设备、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等，以及进行数控机床、三坐标测量机的精度补偿。