Keithley 吉时利 4200A-SCS材料和半导体参数分析仪

Keithley4200A-SCS参数分析仪源 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪， 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程，快速而又满怀信心。

4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。

主要性能指标

I-V 源测量单元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
• 100 fA测量分辨率
• 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
• 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
• 四象限操作
• 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)

• AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
• 1 kHz - 10 MHz 频率范围
• ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
• 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
• 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
• 200 MSa/s，5 ns 采样率
• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
• 瞬态波形捕获模式
• 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率