SuperView W1光学3D表面轮廓仪轮廓分析操作介绍

SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

SuperView W1光学3D表面轮廓仪轮廓分析步骤介绍：

1.将样品放置在载物台镜头下方；

2.检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；

3.使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹；

4.微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹；

5.完成扫描设置和命名等操作；

6.点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；

7.台阶样品分析第一步：校平；

8.进入数据处理界面，点击“校平”图标，和平面样品不同，台阶样品需手动选取基准区域，选好基准区域后，先“全部排除”再“包括”；

9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致，可多选择几个区域作为基准面进行校平；

10.台阶高度测量：线台阶高度测量；

11.进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据；

12.在右侧点击“手动检测”，根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值；

13.台阶高度测量：线台阶高度测量；

14.进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，使用合适方向的剖面线，提取目标位置的剖面轮廓曲线；

15.进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，由于所测为中间凹槽到两侧平面高度，因此点击右侧工具栏，测量条对数选择“2”，将红色基准线对放置到凹槽平面中间，两对测量线对分别放置在两侧平面，即可在数据缆读取台阶高度数据。