晶圆级磁光克尔测量仪性能介绍

　　利用极向/纵向磁光克尔效应（MOKE），快速全局检测晶圆膜堆的磁性。非接触式测量，避免了传统磁性表征对晶圆的破坏，可应用于图形化前后的样品检测。可提供高达2.5 T垂直磁场/1.3 T面内磁场。

　　强磁场可诱导垂直各向异性磁性随机存储器（MRAM）膜堆的自由层、参考层与钉扎层的翻转。超高克尔检出灵敏度，可以单次同时表征不同膜层的细微磁性变化。将激光逐点探测与扫描成像结合，可以快速创建晶圆磁特性全局图谱，辅助工艺优化与良率控制。

　　设备性能

　　●样品尺寸：最大支持12英寸晶圆测试且向下兼容，支持碎片测试;

　　●磁场：最大垂直磁场优于土2.5 T，最大面内磁场优于1.3 T，磁场分辨率1 μT;

　　●磁性检测灵敏度：克尔转角检出度优于0.3 mdeg （RMS），适用多层膜堆的磁性表征;

　　●样品重复定位精度：优于土1 μm，静态抖动≤土0.25 μm。功能及应用场景

　　●磁性随机存储器膜堆和器件阵列的垂直磁滞回线测量（PolarKerrforMRAM）;。

　　●磁盘等磁存储介质的垂直磁滞回线测量（Polar Kerr for PMR Disk） ;

　　●磁性传感器件膜堆的面内磁滞回线测量;

　　●自动提取磁滞回线信息，如自由层和钉扎层Hc、Hex、Ms等，可快速绘制晶圆的磁性特性分布图;

　　●系统预置单点、阵列、环形分布等扫点模式，且支持自定义位置列表的导入;

　　●系统提供手动加载或全自动操作方式，满足研发/生产需求。

编辑：黄飞