HBM静电测试机尾波的危害

1.HBM(Human Body Model) 验证测试已经成为IC 防静电等级的必测项目，一般是直接委外第三方实验室进行验证，但却不知道自己的IC用的静电测试机是否合适，是否会有问题，科普一个名词叫ESD尾波(Trailing pulse)如图(1)，其主要原因是水银继电器在高压切换的过程中会产生离子化并在开关完全闭合前产生跳火现象如图(2)，这就产生了当静电波形主波放电后产生了第二波形的输出。

(图1)

(图2)

2.此尾波在一般的校准中难以发现，比如终端短路电流波形或负载500Ω放电波形均难以发现，需要在终端并联10K ohm电阻和齐纳二极管(zener diode)才能抓取到，如图(3)，此尾波特点经图(1)可以看出能量相对较高，时间较长。随着集成电路的越来越高制程，很多IC很大可能会被此尾波造成失效而非抗静电能力差。

(图3)

3.市面上的静电测试机，有此Bug 的一般是90年代之前的设备。目前比较主流的静电测试机MK2/MK4 均已对此Bug修正到标准范围内，实际波形如图(4)，季丰电子所有的ESD认证实验室(上海、杭州、深圳、成都、北京)配套的全部是最新的系列MK2/MK4如图(5)，请放心使用。

图(4)

审核编辑：汤梓红