MEMS流量传感器原理及应用

温度、压力、流量是工业中3大检测参数，其中，流量检测有很长的历史。

近年来，随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展，传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向发展，微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向。

MEMS流量传感器具有多种用途，例如感测环境流量、工业气体流量监控、生物医学应用中的流量感测和海洋流体动力感测。MEMS流量传感器的紧凑尺寸，高灵敏度，低价格和批量生产功能使其在商业和工业应用中具有很大的吸引力。

产品原理

MEMS热式流量传感器的流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。

加热电阻对热偶堆的热结进行加热，热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压。当流体静止时加热电阻两侧对称位置的温度是相同的；当流体从右向左流动时等温线向左侧倾斜，加热电阻两侧对称位置的温度不再相同，温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定 。

由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关，因此传感器可以直接测出流体质量流量。

炜盛科技自主研发的微流量传感器于2012年即研发成功并取得相关专利，产品质量稳定可靠，符合我司参与起草的《JB/T 13111-2017 热式质量流量传感器》行业标准。

产品特点：

新一代MEMS传感器芯片技术

精度高，响应速度快，重复性好

可精确测量极小流量

经过完全校准和温度补偿

产品选型

产品应用领域

微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。在工业生产、科学实验、产品质量把控、生产效率提高、能源节约等方面发挥着重要作用。

呼吸机

医疗领域

病床供氧

医院楼层管道供氧

制氧机

麻醉机

原子分光光度计

仪器仪表

气相色谱

气密检漏仪

风速计

其他领域

空气采样器

打火机自动调火设备