MEMS VC（可变电容）加速度计的功能和操作

为了发挥DC响应的可变电容MEMS加速度计的优势，输出显示设备必须处于DC直流耦合状态。如果使用调理器供电，调理器也应该为DC直流耦合。请咨询制造商或查看产品手册的具体细节。因为PCB®大多数VC MEMS加速度计包括内置的电压调节器，它们也可以用任何6-30V电源供电，无任何不良影响。

由于VC MEMS加速度可以测量静态（恒定）加速度，DC偏置电压会由于传感器安装位置没有相对于地球重力对齐而受影响。当加速度计的敏感轴与地球重力垂直，输出等于PCB®出厂校准证书上面标注的0g的偏置电压。如果加速度计的敏感轴与地心重力对齐，输出就等于偏置电压﹢1g的输出。

VC MEMS 传感器内部电路包括电压调节器。这样允许传感器可以由任何DC恒压源供电。PCB®提供型号482C27（4通道）483C28（8通道）VC MEMS调理器。其他可接受的电源单元包括汽车或船舶用的电池，和直流电压实验室用品和低压PC板电压电源。

电缆屏蔽需要在一端终止以确保地回路不会被诱导。通常，电缆的屏蔽连接到传感器的外壳。如果传感器安装到隔离垫（或者其他形式的电气隔离）将它与被测结构分开，则屏蔽可以连接到信号调理器的信号地或者数据采集的终端。否则，电缆屏蔽应该在仪器终端悬浮（不连接）。

MEMS VC加速度灵敏度的验证

由于这些传感器用于关键测量,应该验证下它的灵敏度以确保在规格范围内。使用地球重力加速度作为参考加速度可以进行一个精确的静态校准。首先，为使加速度计放置在+1g的方向，所以将基座/底座放置在安装平面上，型号朝上（如图3所示）。此时方向，加速度计正在经历+1g的加速度。使用万用表DVM记录DC直流电压输出。将传感器180翻转。基座/底座朝上，传感器型号朝下（如图3所示）。在此方向传感器受到-1g的加速度。记录DC直流电压输出。使用下面的公式计算加速度计的灵敏度。灵敏度= [(+1g) – (-1g)] / 2

审核编辑：郭婷