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ADI高校讲座系列：微机电系统（4）

时间：2019-08-13 06:00

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作者：admin

标签： ADI  纳米  mems 

导读：2011年11月ADI高校讲座系列-MEMS(微机电系统): 第四部分...

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。

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