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ADI在线研讨会:微电子机械系统的性能及应用分析

时间：2019-07-19 06:05

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作者：admin

标签： ADI  mems  传感器 

导读：ADI在线研讨会:理解和应用微电子机械系统（MEMS）...

MEMS是指大小在毫米量级以下，构成单元尺寸在微米、纳米量级的可控制的可运动的微型机电装置，是集成微机构、微传感器、微执行器以及信号处理控制等功能于一体的系统。

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