致真精密仪器荣获中国仪器仪表学会技术发明奖

昨日，中国仪器仪表学会公布了《2023年中国仪器仪表学会科学技术奖获奖名单》，经过严格的形式审查、初评及由多位仪器仪表界院士领衔的专家会评，致真精密仪器参与的“原子尺度界面自旋电子的原位实时表征与调控系统”项目获得【中国仪器仪表学会科学技术发明· 一等奖】。

中国仪器仪表学会是由中国科协批准设立的一级学会，具有直接推荐国家科学技术奖的资格。

中国仪器仪表学会科学技术奖是经国家科技部批准设立的科学技术奖项，每年评奖一次，此次获评“技术发明一等奖”的项目总数全国仅有6项。该奖项面向全国仪器仪表领域，是国内仪器仪表学科和行业领域公认的权威奖项。

我司参与的“原子尺度界面自旋电子的原位实时表征与调控系统”项目，攻克了超高真空互联技术、高精度的磁控溅射技术、面向纳米薄膜的高分辨率磁光测试技术，并通过工程化开发与攻关，形成多物理场高分辨率磁光克尔显微镜、晶圆级磁光克尔测试仪等系列自旋芯片制造和测试核心设备，开展了产业化推广，取得了显著的经济效益和社会效益。

此次项目获奖展示了致真精密仪器在仪器研发和制造领域的水平，进一步提升了公司的行业影响力。

致真精密仪器将坚持“科学至上、精益求精”的精神，持续在高科技仪器和集成电路关键设备领域加大研发投入，深耕细作，用好仪器为中国科技自立自强做好服务与支撑！

审核编辑：刘清