首台国产12英寸晶边刻蚀机发布

北方华创最近发布了一款名为Accura BE的12英寸等离子体刻蚀机，该设备应用于晶边刻蚀（Bevel Etch）工艺，实现了国产晶边干法刻蚀设备的突破。这项突破为我国先进芯片制造提供了高效的良率提升解决方案。

北方华创自2001年成立以来一直致力于研究刻蚀技术，并于2005年推出第一台8英寸ICP刻蚀机，随后带领国产刻蚀机的交付量逐渐增加，突破了1000台。

据北方华创相关负责人表示，“Accura BE作为国产首台12英寸晶边刻蚀设备，其技术性能已达到业界主流水平。” Accura BE通过软件系统调度优化和特有传输平台的结合，可以提升客户的产能。它可以选择多种刻蚀气体，实现对光刻胶（PR）、氧化物（OX）、氮化硅（SiN）、碳（Carbon）和金属（Metal）等多种膜层材料的晶边刻蚀工艺全覆盖。同时，它还可以提供定制的聚焦环设计组合，实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制，为客户提供灵活、全面的良率提升方案。此外，Accura BE还具备软件智能算法，可以进行可视化的量化调节，简化维护流程，提高设备的生产效率。

最新发布的12英寸等离子体刻蚀机Accura BE技术性能已达到业界主流水平。该设备主要有以下亮点：

1. 通过软件系统调度优化和特有传输平台的结合，能够帮助客户实现更高的产能。

2. 可选择多种刻蚀气体，实现对光刻胶（PR）、氧化物（OX）、氮化硅（SiN）、碳（Carbon）和金属（Metal）等多种膜层材料的晶边刻蚀工艺全覆盖。

3. 可定制多种尺寸的聚焦环设计组合，实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制，为客户提供灵活、全面的良率提升方案。

4. 配备软件智能算法，可实施可视化的量化调节，简化维护流程，提高设备的生产效率。

这些亮点使Accura BE在刚刚上市时就赢得了逻辑及存储器领域头部客户的多个订单，并且已经通过了工艺调试，进入了量产阶段。

编辑：黄飞