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深度解读硅微纳技术之蚀刻技术

时间：2023-07-12 09:26

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作者：admin

标签： 蚀刻技术  薄膜基板 

导读：深度解读硅微纳技术之蚀刻技术-蚀刻是一种从材料上去除的过程。基片表面上的一种薄膜基片。当掩码层用于保护特定区域时在晶片表面，蚀刻的目的是“精确”移除未覆盖的材料戴着...
蚀刻是一种从材料上去除的过程。基片表面上的一种薄膜基片。当掩码层用于保护特定区域时在晶片表面，蚀刻的目的是“精确”移除未覆盖的材料戴着面具。  

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编辑：黄飞

 

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