化学放大型光刻胶的作用原理

感光速度:即光刻胶受光照射发生溶解速度改变所需的最小能量，感光速度越快，单位时间内芯片制造的产出越高，经济效益越好，另-方面，过快的感光速度会对引起工艺宽容度的减小，影响工艺制程的稳定性。

董玉颖:查找资料.；

倪一凡:查找资料；

贾睿:演讲；

顾卓异:ppt

编辑：黄飞