半导体射频电源市场现状分析

射颖（Radio Frequency， RF） 无线电波是一种可以辐射到空间的高频交变电磁波。集成电路设备中所使用的射频电源的频率范围300kHz~300MHz。射频电源是等离子体发生器的配套电源，主要用于在低压或常压气氛中产生等离子体，在集成电路制造工艺中被广泛应用于射频溅射、PECVD、等离子体刻蚀及其他工艺领域。

由于不同气体的等离子体具有不同的化学性能，因而常被应用于不同的工艺设备。例如，氧气的等离子体具有很高的氧化性。可与光刻胶发生氧化反应生成气体。从而达到清洗的效果，因此常用于半导体设备中的去胶机；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，十分符合刻蚀工艺的需求，因而常应用于等离子刻蚀机。

常用的射频电源的输出频率有2MHz、13. 56MHz、27. 12MHz、40. 68MHz、60MH等，射频功率为数瓦至数千瓦。图8-245所示为目前较为先进的开关型固态射频电源原理示意图。其特点是，通过高频（100kHz） 开关整流电路的集成应用，省去了笨重且体积庞大的工频变压器，并为射频驱动回路提供驱动电力；与传统的线性射频电源相比，具有低电力损耗、低存储能量、系统体积小型化的特点，因而非常适用于半导体薄膜设备及工业镀膜设备的等离子真空工艺。

目前我国先进的等离子体设备使用的射频电源，与国外同类电源相比还存在一定差距，要超赶上国际水平，还需要做很多工作：

1）目前我国的射频电源采用大多是电子管或电子管、晶体管混合电路，体积较大，限制了它的应用。并且使用的晶体管大多为国外进口，因此，需要研制我国自主核心的晶体管，研制新技术、新元器件，使射频电源小型化2）目前我国使用的还是阻抗手动匹配器，容易受环境因素的影响，而国外已开始使用阻抗自动匹配器，在工业自动化领域发挥着重要的作用，因此，高精度、高速度的阻抗自动匹配器是未来发展的必然趋势。3）与国外射频电源相比，我国射频电源种类较为单一，今后还应该进行宽频带电源、微波电源、高功率射频电源等不同类型射频电源的研制。根据QYR（恒州博智）的统计及预测，2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元，预计2029年将达到14.57亿美元，年复合增长率（CAGR）为11.18%（2023-2029）。地区层面来看，中国市场（含台湾地区）在过去几年变化较快，2022年市场规模为96.6百万美元，约占全球的13.31%，预计2029年将达到188.52百万美元，届时全球占比为12.94%。

生产端来看，北美和日本是两个重要的生产地区，2022年分别占有36.04%和23.17%的市场份额，预计未来几年，中国地区将保持最快增速，预计2029年份额将达到11.71%。从产品产品类型方面来看，13.56MHz占有重要地位，预计2029年份额将达到32.1%，其次是27.12Mhz类型。同时就应用来看，蚀刻在2022年份额大约是36.56%，未来几年CAGR大约为11.09%。从生产商来说，全球范围内，半导体射频电源核心厂商主要包括万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社、XP Power和通快等。2022年，全球第一梯队厂商主要有万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社，第一梯队占有大约52.95%的市场份额；第二梯队厂商有通快、康姆艾德、京三制作所、北广科技、爱发科、日本电子株式会社、Adtec Plasma Technology、New Power Plasma等，共占有33.99%份额。

编辑：黄飞