中图仪器CP系列台阶仪应用介绍

太阳能作为应用广、无排放、无噪声的环保能源，在近些年迎来快速发展，而在各类型的太阳能电池及太阳能充电系统中，多会镀一层透明的ITO导电薄膜，其镀膜厚度对电池片的导电性能有着非常重要的影响，因而需要对镀膜厚度进行检测与管控。

由于ITO膜具有一定的透光性，而硅基板具有较强的反射率，会对依赖反射光信号进行图像重建的光学轮廓仪造成信号干扰导致ITO膜厚图像重建失真，因此考虑采用接触式轮廓仪对ITO膜厚进行测量，由于其厚度范围从十几纳米到几百纳米，考虑到测量的同时不损伤样件本身，因而采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪最为合适。

中图仪器CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有极强的优势。 视频中展示了中图仪器CP200台阶仪测量ITO导电薄膜的全过程，针对该应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能： 1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位； 2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量； 3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势。 中图仪器，以雄厚的技术实力，为产品性能优越性提供支撑；以卓越的产品性能，为测量数据准确性保驾护航；以专业化的产品和服务，为客户提供最优的解决方案。

编辑：黄飞