EPL小型压力传感器表面贴装

大家好，我是【广州工控传感★科技】EPL传感器事业部，张工。

EPL是一款表面贴装式压力传感器，其不锈钢隔离膜式设计。多种量程，测量范围从0~5至1000psi，同时，EPL压力传感器的非重复性为±0.25%FSO，确保了测量的低误差。此外，EPL系列压力传感器的谐振频率范围为40~350kHz，具有宽频率测量范围，动态测量时最大限度地保证测量不失真。EPL具有的温度性能，其工作温度范围为-40~+120℃，可在高温环境下的应用。同时，最大温度补偿范围为-40~+90℃，在宽温度范围内确保了压力测量精度，降低温度变化对测量误差的影响。EPL采用小型表面贴装，使用合成橡胶或环氧树脂，可轻松将EPL安装于平面上。

EPL的特点：

测量范围0~5至1000psi；

非重复性±0.25%FSO；

谐振频率范围为40~350kHz；

工作温度范围-40~+120℃；

最大温度补偿范围-40~+90℃；

采用小型表面贴装，使用合成橡胶或环氧树脂；

EPL的应用：化学处理汽车试验台常见的实验室测量

另外EPB采用的量程从 0-5 到 5000 psi（0-0.35 到 350 bar），包括表压，密封压和绝压。 EPB的直径可以小到 3.2mm，响应频率从 55 到 400 kHz，适合动态和静态测量。可选多种补偿温度范围，从 -40°C 到 90°C。

下面讲讲EPB和EPL的加工新技术。

微细加工技术微细加工技术：包括光刻、腐蚀、氧化、扩散等技术，其中光刻和腐蚀技术应用最多。 在腐蚀技术中，由于湿法腐蚀方法简单，常用的腐蚀液有乙醇二胺、邻苯二酚和水。 750ml：120g：240ml比例的混合液具有各向异性腐蚀特性，适用于各种特殊形状的加工； KOH和水或异丙酮按44g：100ml配制的溶液，腐蚀速率与硅片的晶向有关，最适合晶向较深的凹槽。 这两种蚀刻液都不能蚀刻掺硼的硅，因此可以通过掺硼来精确控制尺寸。 另一种常用的蚀刻剂是以 1:2:1 制备的 HF:HNO3 和乙酸。 腐蚀速度快，但选择性不强，只能掩蔽。

微细加工是利用硅的各向异性腐蚀特性和与掺杂浓度有关的腐蚀速率，对硅材料进行精细加工，制成复杂的敏感元件。 例如，制造重量轻、密封良好、生物相容的硅微型医疗传感器，可以吞入药丸中。 如果通过化学蚀刻的方法在硅材料或其他材料上选择性地进行微机械加工，如开孔、减薄、开槽等，形成微机械元件，就可以制成硅压力、加速度、气体和医疗传感器。 这种微米级加工技术是一种蚀刻技术，也是一种微细加工技术。

离子注入技术：离子注入技术是半导体敏感元件的主要制备工艺。 它利用电荷来控制杂质，可以将注入量控制在1010~106μm2范围内，因此可以精确控制PN结的深度，实现多种不同特殊离子的掺杂，尤其是特殊离子的掺杂。 离子，可修饰半导体表面，可替代等离子CVD或溅射技术制备多晶材料，避免水、氧等外来杂质的污染，提高敏感元件的性能。