EPB-PW压力传感器敏感元件新技术

大家好，我是【广州工控传感★科技】EPB-PW压力传感器事业部，张工。

EPB-PW压力传感器应用于离心机或实验室设备的孔隙水测量。EPB-PW压力传感器采用陶瓷或青铜烧结过滤器，因此适用于黏土或基于砂子的材料。 EPB-PW压力传感器的钛合金外壳提供非常坚固的结构，安装时不受外夹力的影响。6.4×11.4mm的小尺寸确保EPB-PW兼容。主要包括IP68防护等级，柔性电缆，以及内置PT1000温度传感器。

压力传感器敏感元件的性能不仅取决于其材料，还与其加工工艺有关。 采用集成技术、薄膜技术、微细加工技术、离子注入技术、静电密封技术等，可以生产出质地均匀、性能稳定、可靠性高、体积小、重量轻、集成敏感组件。 下面简要介绍薄膜技术、微细加工技术、离子注入技术。

压力传感器EPB-PW的特点：

量程包括1/1.5/3.5/7/15/35/70bar；

测量精度±0.5%；

非重复性±2.5%FSO；

工作温度范围-40~+80℃；

温度补偿范围0~60℃；

支持EMI保护功能；

尺寸6.4×11.4mm；

IP68防护等级。

压力传感器EPB-PW的应用：孔隙水的测量离心机实验室

EPB-PW压力传感器薄膜技术：

在一定的基板上，采用真空蒸镀、溅射、化学气相沉积（CVD）、等离子CVD、外延、电镀等工艺形成金属、合金、半导体、化合物半导体等材料的薄膜。 薄膜的厚度约为十分之几微米到几微米，这种加工技术称为薄膜技术。 薄膜技术可生产力敏、光敏、磁敏、气敏、湿敏、辐射敏感、热敏、化学敏感、生物敏感等薄膜敏感元件。

真空蒸发是在真空室的加热器中加热待蒸发材料（源），使其分子或原子获得足够的热能离开源材料，形成蒸汽，沉积在基板上形成薄层 电影。

溅射是将气体在低真空室中用高压（高于1000V DC或AC）电离形成等离子体，等离子体的正离子以高能量轰击由被溅射材料制成的阴极靶表面 制造原子 通过将靶材表面沉积到阳极台的基板上来形成薄膜。 这种方法形成的薄膜比真空蒸镀更牢固，可以生产高熔点金属（合金）薄膜和复合薄膜。 其化学成分基本不变，但工艺设备较复杂，成膜速度较慢。 其中，直流溅射用于制备金属（合金）薄膜和半导体薄膜，交流溅射用于制造介电薄膜和金属薄膜。

不同的薄膜工艺用于不同的敏感元件。 即使是相同的敏感元件，也可以通过不同的薄膜工艺制造，以获得不同的性能。 因此，应根据不同的要求选择不同的薄膜工艺。 薄膜技术的机理仍需进一步研究，以更好地指导实践，提高薄膜敏感元件的稳定性和可靠性。 现在预计会发现一些新的物理化学效应，促进敏感元件的发展。

外延工艺本质上是CVD工艺。 它是以单片硅片等为基础，利用氢或氟还原含硅的化合物，如硅烷（SiH4）或四氯化硅等，使单晶硅或其他物质形成并沉积在硅片上。 衬底形成薄膜，例如通过CVD技术在蓝宝石上外延生长单晶硅薄膜（SOS）。 如果衬底和外延膜是同一种材料，则称为同质外延； 否则，两者不是同一种材料，称为异质外延。