共聚焦显微镜各部分名称和功能

以共聚焦技术为原理，用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的VT6000共聚焦显微镜，可对材料样品的表面形貌直接进行成像，横向分辨率可达1nm，Z轴分辨率可达0.5nm。不仅可对样品表面形貌进行测量，提供表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，还提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

其中粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

VT6000共聚焦显微镜的构造组成主要包括：显微镜、激光光源、扫描装置、检测器、计算机系统(包括数据采集，处理，转换，应用软件)、图像输出设备、光学装置和共聚焦系统。

功能

在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中，共聚焦显微镜有着广泛的应用。以共聚焦显微技术为原理的共聚焦显微镜，对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，从而获取反映器件表面质量的2D、3D参数，实现器件表面形貌3D测量。

可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。