基于共聚焦显微技术的显微镜和荧光显微镜的区

荧光显微镜主要应用在生物领域及医学研究中，能得到细胞或组织内部微细结构的荧光图像，在亚细胞水平上观察诸如Ca2+、PH值，膜电位等生理信号及细胞形态的变化，是形态学，分子生物学，神经科学，药理学，遗传学等领域中新一代强有力的研究工具。

以共聚焦技术为原理的共聚焦显微镜，是用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。

材料科学的目标是研究材料表面结构对于其表面特性的影响。因此，高分辨率分析表面形貌对确定表面粗糙度、反光特性、摩擦学性能及表面质量等相关参数具有重要意义。共焦技术能够测量各种表面反射特性的材料并获得有效的测量数据。

VT6000共聚焦显微镜基于共聚焦显微技术，结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，实现器件表面形貌3D测量。在材料生产检测领域中能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用

1.MEMS

微米和亚微米级部件的尺寸测量，各种工艺（显影，刻蚀，金属化，CVD，PVD，CMP等）后表面形貌观察，缺陷分析。

2.精密机械部件，电子器件

微米和亚微米级部件的尺寸测量，各种表面处理工艺，焊接工艺后的表面形 貌观察，缺陷分析，颗粒分析。

3.半导体/ LCD

各种工艺（显影，刻蚀，金属化，CVD，PVD，CMP等）后表面形貌观察， 缺陷分析 非接触型的线宽，台阶深度等测量。

4.摩擦学，腐蚀等表面工程

磨痕的体积测量，粗糙度测量，表面形貌，腐蚀以及亚微米表面工程后的表面形貌。