粗糙度仪工作原理详解

粗糙度仪有接触式粗糙度仪和非接触式粗糙度仪两种。

• 接触式粗糙度仪

接触式粗糙度仪工作原理为触针扫描法，当触针直接在工件被测表面上轻轻划过时，由于被测表面轮廓峰谷起伏， 触针将在垂直于被测轮廓表面方向上产生上下移动，把这种移动通过电子装置把信号加以放大， 然后通过指零表或其它输出装置将有关粗糙度的数据或图形输出来。

• 非接触式粗糙度仪

非接触式粗糙度仪为白光干涉仪。

白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。