我国成功研制新型光学晶体满足半导体晶圆检测

激光是二十世纪人类最重大的发明之一。

最近，中国科学院科研团队成功研制出一种新型非线性光学晶体全波段相位匹配晶体，实现了整个透光范围内的激光输出，它可以满足我国半导体晶圆检测等领域的重大需求。

非线性光学晶体是获得不同波长激光的物质条件和源头。

在晶体中实现应用波段相位匹配被普遍认为是重要的技术挑战之一，决定最终激光输出的功率和效率。

其中，利用晶体各向异性的双折射相位匹配技术是应用最广泛的弥补相位失配的有效途径。

中科院新疆理化所晶体材料研究中心潘世烈科研团队，在提出非线性光学晶理想状态假设的理论基础上，经过不断实践，成功创制出新非线性光学晶体，即全波段相位匹配晶体。

该研究揭示了全波段相位匹配晶体的物理机制，并指导获得一例非线性光学晶体（GFB）。

它首次通过全波段双折射相位匹配技术，对晶体材料透过范围内任意波长的相位匹配，实现了深紫外激光输出，可以满足半导体晶圆检测等领域的重大需求。

中科院科研团队介绍，该类晶体可采用水溶液法生长出高质量、超大尺寸晶体，使其有望成为应用于我国大科学装置的新晶体材料。

此项成果已于近日在国际学术期刊《自然·光子学》在线发表。