安川变频器在真空泵设备中的应用案例

半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。我们日常生活中的电子产品，如计算机、移动电话等当中的核心单元都和半导体有着极为密切的联系。

在半导体制造的多个工艺环节中，包括刻蚀、镀膜等等。为了提高半导体制造过程的精度和均匀性，半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。而获得真空环境所需的设备即为真空泵。

今天要给大家介绍的是安川变频器产品在真空泵设备中的应用。

半导体用干式真空泵设备

半导体成膜工艺

半导体用真空泵一般容易存在启动、加速响应慢，抽速不够稳定；运行效率不高；开放大气时易发生过载、过流故障而停机；面对雷雨季节及供电环境不好时，易因瞬时停电或电压暂降而造成真空泵停机，造成半导体生产损失。

采用安川变频器后设备的特性

1.稳定性

高响应性，抗冲击负载能力强，使真空泵稳定运行。

2.高启动转矩

转矩极限可根据速度切换，使泵在启动及加速过程更快，更稳定。

3.高效性

应对半导体不同工艺，通过专用功能，防止过载前提下保证真空泵高效运行。

4.节能

可高效、稳定驱动配置PM电机的真空泵，更加节能。

5.高信赖性

即使发生瞬时停电或电压暂降，可使真空泵保持输出，电压恢复后继续运行。

安川变频器在国内外的真空泵设备上广泛应用，业内知名度高。能够使半导体用真空泵在不同的半导体工艺下，稳定、高效运行，满足客户需求。

编辑：黄飞