离子注入技术在晶硅太阳能电池中的应用优势

在晶硅太阳能电池的生产过程中，离子注入是一项非常重要的工艺，它可以大幅度提高光电转换率，实现在应用中的精益有效。「美能光伏」作为一家具有众多检测电池和组件性能设备的光伏企业，拥有的美能傅里叶红外光谱仪可通过测量离子注入工艺后晶硅太阳能电池的H含量，来判定其钝化效果是否符合电池生产标准，进而判断太阳能电池的效率与性能。本期「美能光伏」将给您介绍离子注入技术在晶硅太阳能电池中的应用优势！

离子注入工艺原理

离子注入是一种半导体工艺，它是使用加速离子束将特定元素注入到太阳能电池片的表面。离子注入工艺的原理是利用加速器将离子束加速到高速，然后将离子束引导到太阳能电池的硅片表面，离子束与电池片表面相互作用，使得离子进入太阳能电池的表面层，注入的离子将太阳能电池片表面的原子替换为注入的离子，从而改变电池的光电性能，提升太阳能电池的光电转换率。

离子注入在晶硅太阳能电池中的应用

离子注入过程中高能离子对硅片晶格会造成一定的损伤，可通过高温退火的方法消除该损伤，利用退火这一步骤可同时在硅片表面生长一层薄的SiO2层，对硅片表面起到钝化作用。然而为了保障晶硅太阳能电池的钝化情况是否达到制作工艺的生产标准，就可以通过美能傅里叶红外光谱仪进行一键计算R结构因子以及H含量，从而判断晶硅太阳能电池的钝化效果。

离子注入电池工艺流程图

离子注入技术的优势

离子注入制备发射极在高方阻情况下能保证很好的均匀性，且退火过程同时可对发射极进行热氧化钝化，可减少表面复合损失。离子注入制备的发射极能与丝网印刷电极有更好的接触，有利于减少接触电阻的损失。离子注入可增加晶硅太阳能电池的有效受光面积，从而减少光学损失，通过离子注入工艺的注入剂量、离子能量和退火工艺，能精确控制掺杂水平，实现晶硅太阳能电池的高光电转换率。

美能傅里叶红外光谱仪

一键计算R结构因子以及H含量

超大光谱范围可达7800~350cm-1

光谱波数准确度优于1.0cm-1、波数重复性优于0.1cm-1

进口高灵敏度DLATGS检测器、透光率精度≤0.5T

节约人工、操作易上手、大大提高工作效率

离子注入技术在晶硅太阳能电池中具有显著的应用价值，可使晶硅太阳能电池具有钝化作用，从而有效提高电池的光电转换率，并可在大规模生产中降低生产成本，提高生产速率。「美能光伏」生产的美能傅里叶红外光谱仪可帮助电池厂商在生产电池时，了解电池的钝化情况，并根据「美能光伏」所拥有的解决方案解决在制作晶硅太阳能电池的过程中所遇到的钝化问题！